壓力傳感器是一種可用于鋼鐵、化工等領(lǐng)域的壓力測(cè)量，配合壓力調(diào)節(jié)器可實(shí)現(xiàn)壓力自動(dòng)控制。
擴(kuò)散硅壓力傳感器是利用壓阻效應(yīng)原理，通過混合擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特性晶向制成應(yīng)變電阻，形成電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，制成集力敏和力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。
擴(kuò)散硅壓力傳感器的壓力直接作用于傳感器膜（不銹鋼或陶瓷），使膜產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，傳感器的電阻值發(fā)生變化，用電子線檢測(cè)變化，轉(zhuǎn)換輸出相應(yīng)壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。
1.適用于制造小量程變送器。
硅芯片的力敏電阻壓阻效應(yīng)在零點(diǎn)附近的低范圍內(nèi)沒有死區(qū)，壓力傳感器的范圍可以小到幾個(gè)KPA。
2.輸出靈敏度高。
硅應(yīng)變電阻的靈敏度是金屬應(yīng)變計(jì)的50~100倍，因此相應(yīng)傳感器的靈敏度很高，一般范圍輸出約為100mv。因此，對(duì)接口電路沒有特殊要求，使用更方便。
3.精度高
由于傳感器的感覺。敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)由同一部分實(shí)現(xiàn)，無中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，重復(fù)性和延遲誤差小。由于單晶硅本身剛度大，變形小，保證了良好的線性。
4.由于工作單性變形低至微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，彈性芯片最大位移為亞微米數(shù)量級(jí)，無磨損、疲勞、老化，壽命長(zhǎng)達(dá)1×103壓力循環(huán)，性能穩(wěn)定，可靠性高。
5.由于硅的優(yōu)異化學(xué)防腐性能，即使是非隔離的擴(kuò)散硅壓力傳感器也能適應(yīng)各種介質(zhì)。
6.由于芯片采用集成工藝，且無傳動(dòng)部件，體積小，重量輕。
